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无尘车间的相对湿度是指在相同温度下，空气中水汽含量与饱和水汽含量之间的比例。即压力为P，温度为T的湿空气的相对湿度是指给定的湿空气中，水汽的摩尔分数怀同一温度T和压力P下纯水表面的饱和水汽的摩尔分数之比，用百分数表示。相对湿度是两个压强值之比:%RH=1xp/ps在这里p是周围环境中水蒸汽的实际部分压强值；ps是周围环境中水的饱合压强值.相对湿度传感器通常是在标准室温情况下校准的（高于度），相应的，通常认为这种传感器可以指示在所有温度条件下的相对湿度(包括在低于度的情况).冰会产生的蒸汽压强低于液态水。
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